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【技術文章】非晶態薄膜材料的薄膜生長也可以采取柱狀的生長方式
2014-05-29
非晶態薄膜材料的薄膜生長也可以采取柱狀的生長方式。如Si、SiO2等材料在較低的溫度下,都可以形成非晶的柱狀結構。對Ge、Si等薄膜材料進行深入研究時,發現這類材料的柱狀形貌的發育可以被劃分為納米級的、顯微的,以及宏觀的三種柱狀組織。非晶態Ge薄膜中30%A...
【技術文章】材料形成非晶態的能力主要取決于其化學成分
2014-05-21
除了制備條件之外,材料形成非晶態的能力主要取決于其化學成分。一般來說金屬元素不容易形成非晶態結構。這是因為金屬原子間的鍵合不存在方向性,因而要抑制金屬原子間形成有序排列,需要的過冷度較大。合金或化合物形成非晶態結構的傾向明顯高于單一組元,因為化合物的結構一般...
【技術文章】非晶薄膜的生長特性
2014-05-16
非晶態是一種近程有序結構。就是在2個一3個原子距離內原子排列是有秩序的,大于這個距離其排列是雜亂無規則的。例如,非晶硅的每個原子仍為四價共價鍵,并且與最近鄰原子構成四面體,仍是有規律的。非晶態的另一個特點是,其自由能比同種材料晶態的自由能高,即處于一種亞穩態...
【技術文章】外延薄膜的生長
2014-05-14
外延生長的基本參數之一是基片溫度,對于基片與薄膜材料之間,都有一個臨界外延溫度,高于此溫度的外延生長是良好的,而低于此溫度的外延生長則是不完善的。此外,生長速率R與基片溫度T有關。 如吸附原子在與另一個原子碰撞結合之前能進人穩定的平衡位置,...
【技術文章】濺射薄膜成膜過程
2014-05-12
從蒸發源或濺射靶中出來的沉積粒子到達基片表面之后,經過吸附、凝結、表面擴散、遷移、碰撞結合形成穩定晶核。然后再通過吸附使晶核長大成小島,島長大后互相聯結聚集,*形成連續薄膜。在這樣的成膜過程中,蒸發法和濺射法的主要區別是: 對于真空蒸發法,其入...
【技術文章】濺射薄膜的生長
2014-05-09
用濺射法制備薄膜時,到達基片的濺射粒子的能量比蒸發法的要大得多,因此會給薄膜的形成帶來一系列的影響,除了使膜與基片的附著力增加外,還會由于高能離子轟擊薄膜表面使其溫度上升而改變薄膜的結構,或使薄膜內部應力增加等。濺射粒子的能量與濺射電壓、基片與靶的距離、真空...
【技術文章】薄膜開關達到哪些標準
2014-05-08
使用壽命長達200萬。 安全開關防塵防水,抗震性強,使用壽命長,適用于標準機械工程及衛生要求嚴格的領域。 所有產品系列的安全開關均滿足歐洲和美國安全標準。 外形尺寸及接線方式多樣化
【技術文章】連續膜階段
2014-05-06
在溝渠和孔洞消除之后,再入射到基片表面上的氣相原子便直接吸附在薄膜上、通過合并作用而形成不同結構的薄膜。有些薄膜在島的合并階段,小島的取向就發生顯著變化。對于外延薄膜的形成,其小島的取向相當重要。在形成多晶薄膜時,除了在外延膜中小島合并時必須有相互一定的取向...
【技術文章】薄膜的網絡階段
2014-05-04
在小島合并為新島的生長過程中,它的形狀變為圓形的傾向減小,只是在新島進一步合并的地方才繼續發生較大的變形,當島的分布達到臨界狀態時互相聚結形成一種網狀結構。在這種結構中不規則的分布著寬度為50A-200A的溝渠,隨著沉積的繼續進行,在溝渠中會發生二次或三次成...
【技術文章】薄膜開關優點
2014-04-23
薄膜開關又稱輕觸式鍵盤,采用平面多層組合而成的整體密封結構,是將按鍵開關、面板、標記、符號顯示及襯板密封在一起的集光、機、電一體化的一種新型電子元器件,是電子產品外觀結構根本性的變革,它可取代常規分立元件的按鍵,更可靠地執行操作系統的任務。 ...
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