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連續金屬薄膜的導電性質與形狀效應
連續金屬膜含的各種微缺陷使它在導電性質上與塊狀金屬有較大差異,從而形成了以下幾個特點:
(1)薄膜電阻率與薄膜厚度有密切關系,電阻率隨膜厚的增大逐漸減小并趨于穩定值。薄膜電阻率始終大于塊狀金屬電阻率。
(2)薄膜電阻率的溫度系數,霍耳系數、熱電勢都與膜厚有關。
(3)薄膜電阻率隨薄膜晶粒尺寸的增加逐漸減小并趨于穩定值。
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