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薄膜生長是過程的算法三全表法KMC
在這種方法中,對每一種可能的原子遷移都要枚舉,建立了一個包括各種可能發生的事件,以及每個事件對應的激活能的大表。這是一種比較準確的方法,但這種方法在具體應用中非常復雜。例如當初始位置和目標位置各有12個最近鄰時,在遷移過程中總共就要涉及到18個晶位,那么就有218種可能的事件,并要求計算相應的概率(還未考慮次近鄰的影響)。因此建立該表非常困難,而且這種方法的通用性不強。
對以上3種算法而言,鍵計數KMC的適用性更強、更普遍。
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